Назначение: установка обеспечивает неразрушающий контроль качества при выполнении технологических операций ионного или диффузионного легирования кремниевых пластин диаметром до 200 мм.
Преимущества: установка СКАН-2019 обеспечивает функциональные возможности, аналогичные установкам компании Semilab (США), при меньшей на 60 % себестоимости.
На пространстве СНГ аналоги отсутствуют.
Основные характеристики:
- основной контролируемый параметр – удельное электрическое сопротивление ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах в диапазоне значений от 10 до 100 000 Ом/ (Ом/кв);
- диаметр контролируемых пластин: 100-200 мм;
- диапазон контроля электрического потенциала поверхности структуры кремний - диэлектрик: ± (2…2500) мВ;
- динамическая погрешность измерения электрического потенциала поверхности структуры кремний диэлектрик: не более 2,0 мВ;
- дополнительный фактор воздействия - оптическое освещение поверхности приборной структуры излучением различных длин волн;
- пространственное разрешение - не менее 0,5 мм;
- максимальное количество точек картирования - от 100 до 10 000.
Контакты: тел. +375 (17) 293 96 85, e-mail: ontim@bntu.by