Измерительная установка для неразрушающей бесконтактной характеризации полупроводниковых структур с субмикронными слоями по параметрам пространственного распределения времени жизни и примеси железа в кремнии р-типа (СКАН)

7 июля 2022

Приборостроение

Измерительная установка для неразрушающей бесконтактной характеризации полупроводниковых структур с субмикронными слоями по параметрам пространственного распределения времени жизни и примеси железа в кремнии р-типа (СКАН)

Основные характеристики: Установка СКАН-2015 обеспечивает неразрушающую бесконтактную характеризацию полупроводниковых пластин с субмикронными слоями по параметрам пространственного распределения времени жизни неравновесных носителей заряда и примеси железа в кремнии р-типа путем анализа разностных пространственных распределений электрического потенциала поверхности, полученных до и после кратковременного отжига поверхности пластины при температуре около 200 ºС. Пространственные изображения распределения электрического потенциала поверхности приборных структур с субмикронными слоями, изготовленными на пластинах кремния диаметром 200 или 150 мм, формируются в процессе двухкоординатного сканирования поверхности пластины электрометрическим зондом через воздушный зазор. Пространственное распределение электрического потенциала поверхности полупроводниковой пластины с субмикронными слоями отображается на дисплее управляющего ПК в виде цветовой топограммы, где значение измеренного потенциала отображается условным цветом.

Применение на ОАО «Интеграл» (г. Минск) установки СКАН-2015  обеспечило, в частности, неразрушающее выявление термостимулированных дефектов заготовок полупроводникового производства, не выявлявшихся используемыми ранее методами, что позволило определить источники отклонений технологического процесса и повысить выход годных изделий. Неразрушающий характер исследования обеспечил принципиальную возможность сплошного контроля полупроводниковых пластин с возвратом образцов в технологический процесс. Альтернативные методы контроля предполагают использование пластин-спутников, не используемых для изготовления реальных изделий, что снижает достоверность результатов контроля.

Расположение фото:  Широкая (в контенте)

Видео (файл): 

Связанные товары по фильтру:  []

ID: 3661

Описание для анонса: 

Картинка для анонса: Array

Детальная картинка: