Измерительная установка бесконтактной фотостимулированной сканирующей электрометрии СКАН-2019

Измерительная установка бесконтактной фотостимулированной сканирующей электрометрии СКАН-2019
Оптические, оптоэлектронные, лазерные системы и технологии

Измерительная установка бесконтактной фотостимулированной сканирующей электрометрии СКАН-2019

Назначение: установка обеспечивает неразрушающий контроль качества при выполнении технологических операций ионного или диффузионного легирования кремниевых пластин диаметром до 200 мм.

Преимущества: установка СКАН-2019 обеспечивает функциональные возможности, аналогичные установкам компании Semilab (США), при меньшей на 60 % себестоимости.
На пространстве СНГ аналоги отсутствуют.

Основные характеристики: 
  • основной контролируемый параметр – удельное электрическое сопротивление ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах в диапазоне значений от 10 до 100 000 Ом/ (Ом/кв);
  • диаметр контролируемых пластин: 100-200 мм;
  • диапазон контроля электрического потенциала поверхности структуры кремний - диэлектрик: ± (2…2500) мВ;
  • динамическая погрешность измерения электрического потенциала поверхности структуры кремний диэлектрик: не более 2,0 мВ;
  • дополнительный фактор воздействия - оптическое освещение поверхности приборной структуры излучением различных длин волн;
  • пространственное разрешение - не менее 0,5 мм;
  • максимальное количество точек картирования - от 100 до 10 000. 
Разработчики: Жарин А.Л., д.т.н., профессор, Воробей И.В., Воробей Р.И., к.т.н., доцент, Гусев О.К., д.т.н., профессор, Микитевич В.А., Миронович Н.М., Пантелеев К.В., к.т.н., доцент, Самарина А.В., Свистун А.И., к.т.н., доцент, Тявловский А.К., к.т.н., доцент, Тявловский К.Л., к.ф.-м.н., доцент, Шадурская Л.И., к.ф.-м.н., доцент  

Контакты: тел. +375 (17) 293 96 85, e-mail: ontim@bntu.by

Расположение фото:  С наездом на шапку

Видео (файл): 

Связанные товары по фильтру:  []

Описание для анонса: 

Картинка для анонса: Array

Детальное описание: 

Назначение: установка обеспечивает неразрушающий контроль качества при выполнении технологических операций ионного или диффузионного легирования кремниевых пластин диаметром до 200 мм.

Преимущества: установка СКАН-2019 обеспечивает функциональные возможности, аналогичные установкам компании Semilab (США), при меньшей на 60 % себестоимости.
На пространстве СНГ аналоги отсутствуют.

Основные характеристики: 
  • основной контролируемый параметр – удельное электрическое сопротивление ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах в диапазоне значений от 10 до 100 000 Ом/ (Ом/кв);
  • диаметр контролируемых пластин: 100-200 мм;
  • диапазон контроля электрического потенциала поверхности структуры кремний - диэлектрик: ± (2…2500) мВ;
  • динамическая погрешность измерения электрического потенциала поверхности структуры кремний диэлектрик: не более 2,0 мВ;
  • дополнительный фактор воздействия - оптическое освещение поверхности приборной структуры излучением различных длин волн;
  • пространственное разрешение - не менее 0,5 мм;
  • максимальное количество точек картирования - от 100 до 10 000. 
Разработчики: Жарин А.Л., д.т.н., профессор, Воробей И.В., Воробей Р.И., к.т.н., доцент, Гусев О.К., д.т.н., профессор, Микитевич В.А., Миронович Н.М., Пантелеев К.В., к.т.н., доцент, Самарина А.В., Свистун А.И., к.т.н., доцент, Тявловский А.К., к.т.н., доцент, Тявловский К.Л., к.ф.-м.н., доцент, Шадурская Л.И., к.ф.-м.н., доцент  

Контакты: тел. +375 (17) 293 96 85, e-mail: ontim@bntu.by

Детальная картинка: Array